福建中晶科技有限公司

年產120萬片技改項目烤箱設備招標公告

一、項目名稱

福建中晶科技有限公司年產120萬片技改項目烤箱設備采購項目。

二、項目技術要求及售后服務書

    見附件1    

三、投標有關事項及要求： 

1.必須響應技術要求及售后服務（附件1）承若。 

2.本次招標范圍（采購范圍）包括設備的供應、運輸、安裝、調試、培訓及售后服務。

3.采購的設備（洗滌塔）應在合同簽訂后30天內（含30天）出廠驗收合格并交貨。

4.投標人如果完全響應上述第三項第1、2、3點要求，請提供技術要求及售后服務書（附件1）和報價函（附件2）的蓋章原件（原件請密封并在密封袋上加蓋投標人公章）。

5.當有下列情況之一發生時，將依廢標處理：

      5.1報價函有涂改的；

5.2 投標人不足三家的；

四、評標標準

本次招標比選活動，采用最低價中標方式，即總報價最低投標人為第一中標人，同等報價時優先選擇服務過本企業項目的投標人。

五、投標截止日期

投標截止時間：2022年1月14日上午11:00（以收到投標文件時間為準）。

六、報名方式、郵寄地址

參選材料須在規定的投標截止期限前快遞或直接密封送達至我司且在外包裝袋上注明“烤箱設備投標”。

郵寄地址：龍巖市永定區高陂鎮永定工業園區

福建中晶科技有限公司。

郵寄收件聯系人：吳女士         

聯系電話：19906970336  （0597-3011820）

業務聯系人：孔先生

聯系方式：15280390026

七、投標材料

1.營業執照復印件（加蓋公章）；

2.法人身份證復印件（加蓋公章）；

3.報價函原件（須加蓋公章）；

4.技術要求及售后服務（須加蓋公章）。

八、其他要求

參選人在參與本次比選過程中須嚴格遵守國家有關法律法規、相關政策及廉潔從業的各項規定。

   中標人需在收到中標通知書5個工作日內與招標方簽訂合同。

附件：1.技術要求及售后服務

2.報價函

附件1：

烤箱設備技術要求及售后服務書

一、技術要求

1、機外殼采用冷軋鋼板，內膽及HMDS氣體管路使用不銹鋼316L材料，整體使用無縫焊接。整個系統材料優質制造，無發塵材料，適用100級潔凈車間。

2、可調節箱門閉合松緊度，一體成型硅橡膠門密封圈，確保箱內高真空度。高密閉性，鋼化、防彈雙層玻璃門，確保HMDS氣體無外漏。

3、智能控溫，具有設定測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能，溫度：RT+10-250℃，使用溫度200℃；控溫范圍：溫度分辨率0.1℃，溫度波動度：±0.5℃

4、智能化觸摸屏控制系統配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序溫度、真空度以及每一個程序時間。

5、HMDS管路帶加熱功能，使HMDS更易轉為氣態進入箱體內，內膽外壁四周加熱。

6、帶有高低液報警裝置，且藥液瓶可視液位高低。

7、溫度與PLC互聯保護功能。

8、內膽尺寸：450×450×450mm  外尺寸（長×寬×高）：1030×940×1730mm,尺寸偏差不超過10%

9、溫度波動度: ±0.5℃（100-150℃工作溫度）

10、溫度均勻性: ±2%℃

11、載物托架：2塊，可放置4-12寸晶圓

12、真空泵：油泵 

13、抽速: 3min之內達到（優于）133pa

14、回壓: 30min回壓小于200pa

15、潔凈度:Class100。0.3um顆粒增長小于50顆（百級潔凈車間環境下，使用中晶顆粒測試儀測量：CLJ-BII(D)）

16、加熱方式：腔體下部及兩側加熱

17、開箱溫度可以由USER自行設定來降低process時間

18、可分步編程0-99步，可加入溫度值、真空值鏈鎖、可編程抽真空、充氮氣、加HMDS，可單獨、可同時。

19、電源：AC 220V±10%、50Hz±2% 輸入功率：2400W

20、外殼溫度: 腔內150℃工作溫度下，外殼溫度≤45℃，防止燙傷。

21、產能：≥15萬片/月（4寸）。

二、售后服務

1、設備保修期為設備驗收單簽署之日起12個月。

2、保修期內乙方負責設備的維修與損壞備件更換，不收取任何費用，但是不包含設備的定期保養以及定期保養所需的易耗件。并且提供終身維修服務。

3、乙方在接到甲方報修通知后，24小時內響應并提出解決方案，并與甲方充分協商解決。

附件2：

福建中晶科技有限公司一臺烤箱設備采購項目

報價函

一、我司承若：

1.完全響應本項目的要求。

2.在投標截止日前提供標的的正式報價。

二、標的費用報價：

金額單位：萬元

說明：1.報價最多保留至小數點后2位。

                            投標人：   

                            （蓋章）    

                                             年    月    日