中晶科技  新技術新工藝助力企業增產增效

近日，公司生產線完成蝕刻添加CHF3新工藝PSS產品的全面量產，這標志著蝕刻添加CHF3工藝這一行業全新技術，經過近2年的研究取得圓滿成功，這是公司近年來取得的又一項新技術、新工藝項目。

蝕刻添加CHF3工藝是指在PSS生產的蝕刻過程中適當加入CHF3氣體，并配以科學調整電極功率、三氯化硼流量、設備腔體溫度等參數，實現提升蝕刻選擇比，縮短刻蝕工藝時間，提高產量，節約光刻膠及三氯化硼用量。經初步統計，CHF3新工藝導入后蝕刻產能較以往提升10%以上，預估2021年此項技術創新將新增利潤超300萬元。

   近年來，中晶科技始終將技術創新作為推動提質增效的重要抓手和提升核心競爭力的重要途徑，緊盯行業技術趨勢，不斷加大技術研發力度，多項新技術、新工藝的實施，大力推動了公司生產經營提質增效、轉型升級。